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實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道工程系統(tǒng)
瀏覽次數(shù):485發(fā)布日期:2024-11-19

實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道工程系統(tǒng)

  高純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù);所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和 試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。

  常見氣體的種類電子行業(yè)中常見氣體的分類:普通氣體,也稱大宗氣體(Bulk gas ):氫氣(H2)、氮?dú)猓∟2)、氧氣(O2)、氬氣(A2)等。特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等,一般常用的半導(dǎo)體氣體分類如下:

  一)、腐蝕性 / 毒性:HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等

  二)、可燃性:H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等

  三)、助燃性:O2、Cl2、N2O、NF3…等

  四)、惰性:N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等 半導(dǎo)體氣體很多是對(duì)人體有害。

  特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性,只要一泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣起劇烈反應(yīng),開始燃燒;還有AsH3的劇毒性,任何些微的泄漏都可能造成 人員生命的危害,也就是因?yàn)檫@些顯而易見的危險(xiǎn),所以對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)的要求就特別高。

  實(shí)驗(yàn)室高純氣體管道工程系統(tǒng)


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